美國Siargo MEMS氣體質(zhì)量流量控制器 - MFC2000系列
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質(zhì)量流量，時域傳感技術(shù)
量程比100: 1
壓力范圍0. 1~0.8MPa
可測量 多種氣體不需要特別修正
機械接口可定制
各種標(biāo)準(zhǔn)通訊選項可供選擇
產(chǎn)品介紹
美國Siargo MEMS氣體質(zhì)量流量控制器 MFC2000系列描述：
本產(chǎn)品說明書提供了MFC2000系列氣體質(zhì)量流量控制器的基本信息，可用于非腐蝕性氣體流量控制，涵蓋質(zhì)量流量50mLn/min~ 200Ln/min，可提供0~5V或4~20mA模擬信號控制，或RS485Modbus數(shù)字信號控制。本產(chǎn)品說明書包含性能指標(biāo)、機械尺寸、安裝及保修、客戶服務(wù)及訂貨等信息。
MFC2000質(zhì)量流量控制器的控制范圍可達100:1，可工作在為0.1~0.8MPa,?-10~50C，機械接口NPT 1/8*~NPT1/2"，并可定制其他機械接口。MFC2000質(zhì)量流量控制器采用本公司專有的MEMS流量傳感芯片，集成了時域流量傳感技術(shù)和智能電子技術(shù)。與市場上傳統(tǒng)的量熱式流量傳感技術(shù)相比，這種獨特的時域流量傳感技術(shù)消除了-些常見氣體的敏感性。而對于另外一些敏感性氣體，可以配合軟件實現(xiàn)氣體識別。MEMS芯片表面采用氮化硅陶瓷材料鈍化，并結(jié)合防水、防油納米涂層，產(chǎn)品性能和可靠性得以大幅提高。時域流量傳感技術(shù)還提供了更好的線性度，并使溫度效應(yīng)大幅降低。
備注: mLn/min和L n/min表示在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)( 0C，101 .325kPa)下的標(biāo)準(zhǔn)流量。
美國Siargo MEMS氣體質(zhì)量流量控制器?MFC2000系列特點：
質(zhì)量流量，時域傳感技術(shù)
量程比100: 1
壓力范圍0. 1~0.8MPa
可測量 多種氣體不需要特別修正
機械接口可定制
各種標(biāo)準(zhǔn)通訊選項可供選擇
美國Siargo MEMS氣體質(zhì)量流量控制器?MFC2000系列選型：
美國Siargo MEMS氣體質(zhì)量流量控制器?MFC2000系列參數(shù)尺寸：
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